Magnetron sputteranlegg

VON ARDENNE VISS 300

Vi tilbyr et brukt vertikalt sputteranlegg fra ARDENNE VISS 300.

Anlegget er fra 2002, og i 2016 ble det utvidet med et tredje kammer.

Anlegget har en sluse samt de tre kamrene med magnetronsputteringsenheter SSM750RF fra Ardenne.

Dette inkluderer 1 generator fra Trumpf Hüttinger PFG2500RF.

Det finnes også en dobbel magnetronsputterkilde som for øyeblikket ikke er montert, samt tilhørende styreenhet fra Astral.

Det finnes et temperaturreguleringsapparat for en av de to kjølekretsene, for å opprettholde en konstant temperatur på f.eks. 38 °C, samt 2 eksterne kjøleenheter med varmevekslere.

Fpodezp Ep Tspfx Am Ssk
I kamrene er det blitt sputtert sinkoksid (ZnO) og sinksulfid (ZnS).

Anlegget ble brukt frem til slutten av mai 2026 og ble stanset uten feil.

Anlegget er blitt regelmessig vedlikeholdt av operatøren og er i svært god stand.

Før levering vil vi utføre service på alle installerte forvakuumpumper og turbopumper (lagerbytte).

På forespørsel kan montering og idriftsetting på stedet bestilles i tillegg.

Hvis du er interessert i anlegget, står vi gjerne til disposisjon for å svare på ytterligere spørsmål.

Annonsen ble oversatt automatisk. Oversettelsesfeil kan forekomme.