08 Maseveon stasjon + LC avgassingsenhet

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Innledning:
1. Dette dokumentet beskriver de funksjonelle kravene vedrørende en;
1.1. LC-brett avgassingskammer
1.2. LC-brett avgassingskammer er et (styrt vakuumkammer) hvor et aluminiumbrett med LC-væske degasseres i et vakuummiljø over en tidsperiode (dvs. innestengt luft evakueres)

Vakuumprofil:
1.1. Trykkinnstillinger fritt justerbare mellom 1,103 og 1,10^-3 mBar
1.1.1. Måleområde: 1,103 – 5,10^-4
1.2. Tidsinnstillinger fritt justerbare mellom 1 og 600 minutter per trinn
1.2.1. Avgassingstrinn (D) kan vare fra minutter til dager
1.3. Evakuerings- og ventilasjonshastigheter må kunne reguleres
1.4. Evakueringssyklus (A – D) utføres automatisk
1.4.1. Lufte-/ventilasjonstrinnet (E) må aktiveres manuelt (operatør)
1.5. Typisk avgassingsprofil

2. Innside:
Pjdpfx Afswam Sajwegw
2.1. Rustfritt stål (aluminium) polert prosesskammer (innside)
2.1.1. Lekkasjerate må diskuteres
2.2. LC-brett (tilpasset) skuff for enkel inn- og utlasting av LC-brett (ingen støt/rystelser tillatt), se avsnitt 2 LC-brett dimensjoner og vedlegg 1
2.3. LC-brett må være horisontalt (i vater) til enhver tid for å forhindre spill av LC
2.4. Kammer må være lett/raske å åpne for rengjøring og/eller inn- og utlasting av LC-brett
2.5. Innside av kammeret må være polert for enkel rengjøring og for å forhindre kontaminering og/eller oppsamling av fuktighet
2.6. Mulighet for overvåking (vindu) av avgassingssyklusen, dvs. overvåking av LC-væskens overflateatferd i LC-brettet
2.7. Ingen prosesskontaminering forårsaket av kammermateriale (-produksjon)

Annonsen ble oversatt automatisk. Oversettelsesfeil kan forekomme.